晶圆传输设备核心技术概述—晶圆传输设备核心技术简介
关于澳门6合开彩开奖网站 / 2024-12-04
晶圆传输设备核心技术简介 晶圆传输设备是半导体生产线上不可或缺的设备之一,它主要负责将制造好的晶圆从一个工序传输到另一个工序,保证整个生产线的连续性和高效性。本文将对晶圆传输设备的核心技术进行概述。 1. 晶圆传输方式 晶圆传输设备的传输方式主要分为两种:机械式传输和无人机械式传输。机械式传输是指通过机械手臂、输送带等机械设备将晶圆从一个工序传输到另一个工序。无人机械式传输则是指通过无人机、AGV等自动化设备将晶圆进行传输。无人机械式传输具有高效、精准、安全等优点,是晶圆传输设备的发展方向。